’04-4−4
約1年程前(記憶が怪しい)から、真空蒸着装置の製作に向けて、少しずつ必要な部品、機材を収集してきました。
ようやく、TMP(ターボ分子ポンプ)のややジャンクになりかけ?(大気中では運転ができないので、確認ができません)が手に入ったことで。排気系の主要部品が一通り入手できたので、具体的な設計を開始しました。

現段階での装置仕様は
1.チャンバー内寸法 φ540×450mm (処理最大径 φ520mm)
2.排気装置 4”TMP+MB+RP (MBは必要ないかも)
3.目標真空度 5×10−4pa (TMPの能力はもっと高いです)
4.プラズマクリーニング機能付き
5.基材加温ヒータ
6.基板回転機構
7.蒸着原シャッター機構

これらの機能は一度には達成できないので順次となりますので、まあ長期戦です。
今後の作業手順は
1.フランジ類の製作
2.チャンバー補強リブの製作
3.小物フランジの溶接組み立て(溶接の練習を兼ねる)
4.チャンバーの溶接組み立て

ここまでの作業は、かなり時間がかかると思いますよ。

5.RPでの荒引きテスト(大雑把な気密テスト)
6.TMPの取り付け
7.TMPコントローラの製作(??コントローラが無いので、この時点まで手に入らない場合は自作となる??)
求むTMPコントローラ WANTED !! EDWARDS EXC120 or EXC300 or EXC100

8.排気系の配管
9.5×10−4paレベルの排気、気密テスト
10.蒸着用ヒータ(蒸着原)の製作
11.シャッターの製作(回転導入の製作含む)
12.鏡ホルダの製作
13.鏡回転機構の製作(回転導入の製作含む)
14.プラズマ発生用電極、電源の製作(ここら辺、まだ良くわからない...)
ここまで、こぎつければ後は色々といじくり回して改良を進められると思いますよ。
蒸着の基本部分なので、何とかたどりつきたいですねぇ。



これが、現在の構想図です。(書きかけですが...)
まだ、何が必要不要がはっきりしていませんが、ざっとこの程度の大きさと機器の配置を考えています。
とりあえす、サービスポートは多めに付けておこうと考えています。



  

これがTMPです。(やっとこ手に入った...)
EDWARDS製です、新品はとても高価なものです。
RP(油回転ポンプ)で排気した後に、起動します。
希薄空気を(気体分子の領域)を叩き出すようにして排気するらしいです。
この、タービンが60000rpmで回転します。

これ以外には
RP:油回転ポンプ
MB:メカニカルブースターポンプ(ルーツポンプ)
B−Aゲージ:ワイドレンジの新品です!!


....まだまだ、ゴールは遠い。



  

  
これは、チャンバーの容器になる寸胴鍋です。
中古なんですが、チャンバーにするので程度の良いものをさがしました。
また、同じ径でも肉厚が薄いものもあるので、現物を確認しないとわかりません。今回は、54cmのもので肉厚は5mm程度です。これではとても真空には耐えられないので、外側にリブを溶接して補強します。
丸い円盤は、チャンバーのフランジ用の材料です。


サービスポートの材料です、旧JISの100サイズなのでフランジ外径が185mmとなりますので、材料は190角にしました。取り出しの配管部分は管径114mmなのですが、アルミの場合はインチサイズではないので近いサイズで径110mmにしました。エルボは114mmなんですね。



まずは、フランジ材料の中央に材料クランプ用の穴を明けます。

周囲をフライスで切り落とし、円盤にします。
サーキュラテーブルの中心にM12スタッドボルトを立ててクランプで固定します。当然、サーキュラまで削らないように敷き板を敷いてあります。


円盤にしたフランジ材料です。外径は旋盤で仕上げますので、やや大きめ(+2mm程度)に加工してあります。


旋盤で、内径を加工します、まだ仕上げではないのでやや小さめ(-2mm程度)に加工しました。

荒削りが完了したフランジ材料です。
この後、外形を仕上げてから、内径を仕上げます。
内径はフランジ厚みの半分まで管がはまりますので段付きとなります。

  

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